Elektronik halvledare  [ Tillbaka till  Gaser  ]

Vid tillverkning av halvledare, d v s integrerade kretsar och mikrochips, behövs gaser för etsning, dopning och beläggningar. För detta ändamål används reaktiva gaser som t ex oxygen, hydrogen och silan. Dessutom behövs inerta gaser, som argon och nitrogen, för rengöring och som skyddsatmosfär vid produktionen.

Air Liquide erbjuder produkter till halvledarindustrin och närliggande applikationer. Vår kompetens hämtar vi från Air Liquide Electronics, som är en specialiserad division inom Air Liquide-koncernen. Divisionen har produktion samt forskning och utveckling i Europa, Asien och USA, vilket ger ett innovativt och tekniskt framstående gemensamt produktsortiment över hela världen.

Air Liquide erbjuder ett komplett program av gaser och utrustning för halvledarframställning. Vi kan garantera att våra gaser håller högsta möjliga renhet, en absolut nödvändighet för elektronikindustrin. Vi erbjuder vidare ett totalåtagande när det gäller logistik, service och underhåll vid gasdistribution. Distributionen kan ske i form av bulkleveranser, flaskor och paket eller genom s k on-site-produktion, i direkt anslutning till användaren.

Produkterna omfattar bl a:

• Bulk och elektronikgaser, kemikalier samt tillhörande utrustning.
• Projektledning och systemkonstruktion vid ny- och tillbyggnad av fabriker.
• Distributionssystem för gaser och kemikalier.
• Totalåtagande för hantering av gaser och kemikalier, s k Total Gas and/or Chemical Management.
• Reningssystem.

Air Liquide har både de produkter och de tjänster som du som kund inom halvledarindustrin är beroende av i din produktion. De mycket speciella omständigheter som råder vid halvledartillverkning – där orenheter i vissa gaser räknas i biljondelar – kräver väl avpassade gasapplikationer såväl som kemiska applikationer som lätt kan integreras i produktionsprocessen.

Air Liquide-koncernens position som den ledande leverantören av industrigaser i världen gör att vi som dotterbolag kan tillhandahålla teknologiskt avancerade lösningar för de hårda tillverkningskraven, som råder inom halvledarindustrin, i form av bärgaser, processgaser och gasblandningar.

Halvledarindustrin använder flytande kemikalier i ett flertal olika processer. Förutom att erbjuda pålitliga processgaser, utrustning och kontrollprogramvara, marknadsför Air Liquide även kemiska produkter.

Produktion, rening (ner till 100 biljondelar), blandning och hantering på plats av flytande kemikalier ger dig som kund de nödvändiga produkter som krävs vid chipstillverkning.

• Ammoniak
• Argon
• Arsin
• Bortriklorid
• Diboran + N2
• Diklorsilan
• Fosfin
• Hexafluoretan-R116
• Hydrogen
• Klorväte 
• Nitrogen
• Nitrogentrifluorid-NF3
• Oxygen
• Silan
• Svavelhexafluorid
• Trifluormetan-R23
• Wolframhexafluorid
• Vätebromid

Utrustning Elektronik Halvledare

Läs mer på vår internationella hemsida (på engelska)